晶圓劃片機主軸轉速對刀片壽命及切割品質(zhì)的影響

在晶圓劃切過程中，不僅需要選擇適合的劃片刀，而且要關注加工條件的優(yōu)化。合適的劃片刀和良好的加工條件，對于獲得滿足工藝要求的切割效果都起著至關重要的作用。

加工條件主要涉及以下兩個方面：

什么是主軸轉速？

刀片固定在精密切割設備主軸上，并以非常高的速度旋轉。主軸轉速通常在每分鐘10,000至60,000轉之間。刀片旋轉速度是影響切割效果的關鍵因素之一。

需要注意的是，在相同轉速下，刀片外徑不同，外圓線速度也是不同的。刀片外徑越大，外圓線速度越大，如下圖所示：

不同的刀片外徑為了獲得相同的外圓線速度，必須調(diào)整轉速，以保證切割質(zhì)量及穩(wěn)定性。

主軸轉速對刀片壽命的影響

當主軸轉速增加時，刀片的切割能力提高，金剛石的加工負荷減少，從而提高了刀片壽命，同時降低了被切產(chǎn)品正面崩邊產(chǎn)生的風險。另一方面，金剛石加工負荷減少會阻礙刀片自銳，這往往導致被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的增加，此時降低主軸轉速，加速刀片自銳，就是減少被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的有效措施之一。

主軸轉速對切割品質(zhì)的影響

不同主軸轉速下的正面和背面崩邊尺寸的變化

相同切割條件下，主軸轉速越高被切產(chǎn)品正面崩邊尺寸越小，背面崩邊尺寸越大。

不同主軸轉速下的正面切割刀痕變化

相同切割條件下，主軸轉速越高，刀片蛇形切割的發(fā)生概率越高。

為了使被切產(chǎn)品保持良好的正面和背面切割質(zhì)量表現(xiàn)，并達到預期的使用壽命，需要選擇一個主軸轉速平衡點。

主軸轉速與加工質(zhì)量的平衡點

由于主軸轉速對正面、背面崩邊尺寸和刀片壽命均有影響，因此有必要根據(jù)被切產(chǎn)品、刀片規(guī)格和加工質(zhì)量標準對主軸轉速進行平衡選擇。