| Item | Specification |
Material
| High Purity Monocystalline Al2O3 (≥99.996%) |
| Orientation C to M | C-plane(0001) off to M-plane (1100) 0.2±0.1°; 0°± 0.1°(A-axis) |
| Orientation Tolerance C to A | 0.00±0.1°
|
| Primary Flat to A-plane（11-20） | A-plane ± 0.2° |
Diameter
| 50.8±0.1mm, 100±0.1mm, 150±0.2mm |
Thickness
| 420~440um, 640-660um，1300mm |
| Flat Length | 16±1.0mm, 30±1.0mm, 47.5±1.5mm |
Edge profile
| R |
| TTV | ≤5um |
| BOW | 0~-10um
|
| Warp | ≤15um |
Front Side Roughness
| ＜0.3nm |
| LTV | ≤1.8um |
| R Plane | R9 |
Back Side Roughness
| 0.8-1.2um |
| Laser Mark | Back side |
| Package | 25 pcs/cassette |
晶向：C向、M向、R向；單拋、雙拋；
厚度：100um、280um、300um、350um、430um、500um、650um、1mm；
闡述：藍寶石是氧化鋁的單晶，是自然界里硬度第二的材料，僅次于鉆石。藍寶石具有良好的透光性，高強度、抗碰撞阻力，耐磨性，抗腐蝕及抗高溫高壓，生物相容性，可以做成各種形狀的物體。是制作半導體光電子器件的一種理想襯底材料。
應(yīng)用：藍寶石單晶是一種優(yōu)良的多功能材料。可以廣泛應(yīng)用于工業(yè)，國防和科研等多個領(lǐng)域（如耐高溫紅外窗口）。同時它也是一種用途廣泛的單晶基片材料。是當前藍、紫、白光發(fā)光二極管（LED）和藍光激光器（LD）工業(yè)的先選基片（需要在藍寶石基片上外延氮化鎵膜層），也是重要的超導薄膜基片。
