碳化硅(SiC)

碳化硅(SiC)
產(chǎn)品詳情



Grade
Zero MPD
ProductionResearch GradeDummy Grade
Diameter

50.8 ±0.38 mm, 76.2 ±0.38 mm, 100±0.5 mm, 150±0.25mm

Thickness
4H-N

350 μm±25μm

4H-SI

500 μm±25μm

Wafer Orientation

Off axis : 4.0° toward 1120 ±0.5° for 4H-N On axis : <0001>±0.5° for 4H-SI

Micropipe Density

≤1 cm-2

≤5 cm-2

≤15 cm-2

≤50 cm-2

Resistivity4H-N

0.015~0.028 Ω·cm

6H-N

0.02~0.1 Ω·cm

4/6H-SI

>1E5 Ω·cm

(90%) >1E5 Ω·cm

Primary Flat

{10-10}±5.0°

Primary Flat Length

15.9 mm±1.7 mm,   22.2 mm±3.2 mm, 32.5 mm±2.0 mm,   47.5 mm±2.5 mm

Secondary Flat Length

8.0 mm±1.7 mm, 11.2 mm±1.5 mm, 18.0mm±2.0 mm

Secondary Flat Orientation

Silicon face up: 90° CW. from Prime flat ±5.0°

Edge exclusion

3 mm

TTV/Bow /Warp

≤15μm /≤25μm /≤40μm

Roughness

Polish Ra≤1 nm

CMP Ra≤0.5 nm

Cracks by high intensity light

None

None

1 allowed, ≤1 mm

Hex Plates by high intensity light

Cumulative area≤1 %

Cumulative area≤1 %

Cumulative area≤3 %

Polytype Areas by high intensity light

None

Cumulative area≤2 %

Cumulative area≤5%

Scratches by high intensity light

3 scratches to 1×wafer diameter cumulative length

5 scratches to 1×wafer diameter cumulative length

8 scratches to 1×wafer diameter cumulative length

Edge chip

None

3 allowed, ≤0.5 mm each

5 allowed, ≤1 mm each

Contamination by

None

high intensity light


供應(yīng)產(chǎn)品
區(qū)熔硅片
化合物半導(dǎo)體
外延片
氧化片
單晶硅棒
直拉硅片
聯(lián) 系 我 們
                   地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)平湖街道平安大道1號華南城12棟610
郵箱: sales@weisswafer.com
手機:+86-13631407937
主站蜘蛛池模板: 久久久久国产精品免费免费 | 久久国产资源| 久久99视频免费| 亚洲精品国产一区二区三 | 三级午夜宅宅伦不卡在线| 日本黄网站| 国产九九在线视频| 特级淫片国产免费高清视频| 国产成人精品影院狼色在线| 亚洲国产天堂久久综合网站| 一级毛片无遮挡免费全部| 在线视频一二三区2021不卡| 国产精品爱啪在线线免费观看| 国产91久久久久久久免费| 久久亚洲精品中文字幕第一区| 最新国产精品久久精品| 久久国产精品久久久久久| 中国一级毛片视频| 成人区视频| 免费一级毛片无毒不卡| 国产精品天仙tv在线观看| 国产午夜视频| 亚洲欧美中文v日韩v在线| 欧美日本日韩| 操批视频| 六月丁香啪啪| 婷婷 夜夜| 亚洲你xx我xx网站| 中国女人野外做爰视频在线看| 一级做a爰片欧美aaaa| 亚洲最新视频在线观看| 色婷婷.com| 国产伦一区二区三区高清| 国产精选一区| h版欧美一区二区三区四区| 欧美日韩亚洲另类| 色天使色婷婷丁香久久综合| 亚洲成人免费在线视频| 亚洲精品综合| 亚洲精品第一综合99久久| 亚洲视色|